Merken 20.03.2014

Schichtdickenmessgerät IndiSpectro

Mit einer Genauigkeit von 0,02 µm messen

Der weiterentwickelte Schichtdickenmesser IndiSpectro Sensor der BST ProControl GmbH, Wenden, misst mit einer Genauigkeit von 0,02 µm. Er kommt vor allem im Zuge der Online-Messung bei der Produktion sehr dünner Folien, bei der Fertigung flachbahniger und nicht faseriger Materialien sowie bei Beschichtungen zum Einsatz.

Das Schichtdickenmessgerät IndiSpectro (Bild: BST)

Für die Messung werden optische Schichtdicken mit den Wellenlängen des Lichtes verglichen. Trifft ein Lichtstrahl auf eine transparente Schicht, wird dieser sowohl an der oberen, als auch an der unteren Grenzfläche teilweise reflektiert. Aufgrund der Überlagerung beider reflektierender Strahlen ergibt sich ein Interferenzspektrum, welches wiederum vom Brechungsindex und der Dicke der durchstrahlten Schicht abhängt. Auf Grundlage der gewonnenen Messresultate kann daraufhin ein genaues Endergebnis bezüglich der Materialdicke bzw. der Beschichtungen ermittelt werden. Dicken im Bereich zwischen 2 µm und 150 µm sind messbar.

Die Reproduzierbarkeit liegt bei stationären Messungen mit bis zu 0,0001 µm sogar im subatomaren Bereich. Der weiterentwickelte Sensor ist auch zur Messung von Multiayern einsetzbar, da er Zwei-Schichtmessungen durchführt. Einzige Voraussetzung: Die zu messenden Produkte müssen in jedem Fall über eine hinreichende Lichtdurchlässigkeit im relevanten Wellenlängenbereich verfügen. Das Gerät arbeitet mit einer Abtastrate von 100 Hz und einem Messfleckdurchmesser von 1 mm.